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MISiC肖特基二极管式气体传感器响应特性分析

分析了金属2绝缘体2SiC (MISiC) 结构肖特基二极管(SBD) 气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结合,建立了器件物理模型. 模拟结果表明,响应特性与金属电极类型、绝缘层...