微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器.文中根据频闪成像原理,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路,该驱动电路可驱动高亮LED,以产生MEMS动态测试中所需的
ADXL345是ADI公司生产的一款超低功耗3轴加速度计，广泛应用于手机、医疗仪器、游戏和定点设备、工业仪器仪表及个人导航设备领域，他的分 辨率高达13位，测量范围达± 16g。数字输出数据为16位二进制补码格式，可通过SPI...
石英具有非凡的机械和压电特性, 使得从19 世纪40 年代中期以来一直作为基本的时钟器件. 尽管在陶瓷, 硅晶和RLC电路方面有60 多年的研究, 在此之前没有哪种材料或技术能替代石英振荡器, 鉴于其异常的温度稳定性和相位噪声特性. 估计2...
解决惯性导航系统中姿态与航向精度不足的问题，本资源深入探讨基于MEMS器件的AHRS设计方法与实现策略，适用于嵌入式系统开发与传感器融合应用。
结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对...
基于MEMS 的微型手术器是一种可用于微创手术的新型医疗器械。这种手术器实际上是一种微型智能机器人,其中的传感器采用MEMS 技术制造,具有微型、机电一体化集成、智能等特点。介绍了国际上具有代表性的微