MEMS-based+Circuits+and+Systems
Over many years, RF-MEMS have been a hot topic in research at the technology and device level. In particular, various kinds of mechanical Si-MEMS reso...
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Recent advancements in nanotechnology (NT) materials and growth of micro/ nanotechnology have opened the door for potential applications of microelect...
Microengineering, MEMS, and Interfacing
Microengineering and Microelectromechanical systems (MEMS) have very few watertight definitions regarding their subjects and technologies. Microengine...
静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar
微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用：微谐振器...
MEMS传感器弱信号检测电路及集成设计.rar
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限制整个系统的主要因素。 本论文在分析差动电容式传感器工作原理...
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