MEMS谐振器

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对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或

2024-05-16 5 MEMS谐振器

一个电压控制的LC振荡器,振荡器的输出为正弦波。设计中采用数字频率合成技术,利用锁相环的原理,使输出电压稳定在一固定频率上。采用电压负反馈和自动增益控制(AGC)电路使输出电压幅值稳定在1V±0.1V。控制部分采用FPGA来完成,显示部分利...

2024-09-27 7 MEMS谐振器

项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号,因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是:实现10ms内对中心谐振频率为20k...

2013-08-11 149 MEMS谐振器