MEMS加速计

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姿态测量系统是无人机设计中的关键部分。尤其是对于载荷很小的微型无人机, 姿态测量系统就更有研究的必 要。设计了由微机电技术(M EM S) 传感器组成的姿态测量系统。该系统由三轴磁阻传感器、三轴角速率陀螺和三轴加速度计 组成。通过测量载...

2023-11-01 8 MEMS加速计

对于在反馈环路中采用MEMS惯性测量单元(IMU) 的高性能运动控制系统，传感器对准误差常常是其关键考虑之一。对于IMU中的陀螺仪，传感器对准误差描述各陀螺仪的旋转轴与系统定义的"惯性参考系"（也称为"全局坐标系"）之间的角度差。为了管控对...

2023-02-04 4 MEMS加速计

主要介绍了mems的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。关键词：微电子机械系统；微传感器；微执行器

2023-12-27 5 MEMS加速计