MEMS加速计

设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。

2013-10-13 65 MEMS加速计

2013-10-17 191 MEMS加速计

该文档为基于加速度的门限检测计步算法设计简介资料，讲解的还不错，感兴趣的可以下载看看…………………………

2021-10-26 7 MEMS加速计

· 摘要：  集成电路以及DSP技术的发展,为摆式积分陀螺加速度计(PIGA)的一体化设计提供了可能;伺服回路是PIGA的重要环节,其性能直接影响PIGA的精度;传统的模拟伺服回路其电阻、电容等器件受工作环境影响,易老化...

2024-09-13 6 MEMS加速计

2013-04-24 77 MEMS加速计

涵盖ADIS16000 MEMS振动传感器的硬件架构与通信协议，深入解析其内置RF收发器的功能实现及应用场景。适用于嵌入式系统开发与工业监测领域。

2026-03-11 1 MEMS加速计

这份博士论文深入探讨了MEMS晶振的各个方面，从设计原理到实际应用，为工程师和技术人员提供了宝贵的参考。内容涵盖了MEMS晶振的制造工艺、性能优化及测试方法，适合希望深入了解该领域的专业人士。

2025-12-19 3 MEMS加速计

As a student I did my best to avoid text books – a strange statement for a Professor to make and one that I should clari...

2020-06-06 1 MEMS加速计

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