GPS速度计
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MXC6225加速度传感器AVR程序
美新杯传感器大赛的赞助器件MXC6225加速度传感器的AVR读数据程序。编译环境CVAVR，可稍微改动移植到其他环境中。加速度是I2C接口。程序中使用AVR自带I2C模块。
2023-04-27
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基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅...
2013-11-17
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