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分析了经典频域三点法测量直行部件运动误差时所存在的谐波抑制,直线度误差的非周期性、非封闭性以及端点不连续而引起的高阶谐波分量失真等方法误差。为了减少上述方法误差,提出了一种新的时域两点法误差分离技术。
利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO
转角-线位移式全闭环位置伺服系统及误差分析:：在一些精度要求比较高的应用场合，半闭环的位置伺服系统不能满足要求。文中提出采用转角-线位移式全闭环位置控制方法，光栅位移传感器作为线位移检测元件安装在工作
介绍了一种在结构上不同于Op ton 的三维测量头K该测头采用折叠套装双片簧结构K并设计了附加弹力增减装置K使结构小巧K固有频率可变K适合于仿形加工和坐标测量1[关键词] 3D 测量M传感器M
资料->【C】嵌入系统->【C3】自动化控制->【1】控制算法->【模糊控制】（Fuzzy、专家系统）->传感器模糊神经网络非线性误差补偿的研究.pdf
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