CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用
华中科技大学光电子工程系微制造实验室（华光科技研究所）研制生产的CYBJ-971 型溅射金属薄膜压力传感器，由于采用了当今较为先进的金属薄膜溅射、内部标定和温度补偿等技术，使其具有测量范围大、高...
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