微纳米加工技术及其应用
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...
本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...
随着对碳纳米管研究的不断深入,对碳纳米管的应用研究越来越受到人们的重视。通过分析碳纳米管的物理特性,对碳纳米管的应用前景进行了广泛的探索。着重分析了碳纳米管的电学特性,如导电特性、通流能力、电...
高磁损耗纳米晶颗粒是新型电磁波吸收材料的重要研究方向。该文以纳米晶结构为基础,从磁性纳米晶交换耦合作用和纳米小尺寸表面效应出发,归纳了纳米晶颗粒静态磁化特性,以及在动态磁化机制方面展开的探索工作...
通过阳极氧化制备了多孔性氧化铝膜,并以其为模板,采用溶胶凝胶法制得了TiO2纳米丝。关键词:阳极氧化;多孔性氧化铝膜;溶胶凝胶;TiO2 近年来,新发展的纳米TiO2晶体...
帮助工程师快速实现基于TMS320F28335的高精度光栅纳米测量系统设计,掌握PCI接口与精密测量技术的核心应用。...