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查看全部 500 份 →高g值M EM S加速度传感器敏感元件的结构分析
介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。关键词:M EM S; 加速度传感器,
2024-05-13
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