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结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对...

2016-07-26 3 高真空

随着企业规模的不断扩大，设备的维护成本在不断增加。将短消息业务应用在远程监测系统中，就可以大幅降低设备维护费用。本文介绍了基于SMS 的远程监测方案在真空控制系统维护当中的应用，重点阐述了监测系统的通

2023-11-23 2 高真空

    真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机， 主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过改变靶材与工艺参数， 在工件表面上镀制纯金属膜、 合金膜以及多种金属的化合物膜。三靶镀膜机真空室内有 3种靶材 ， 通过修改工艺运行...

2022-09-17 5 高真空

应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,以真空度为工艺进程判据,细化控制量,优化工艺,保证工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量;其程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强.

2024-12-23 10 高真空

主要介绍以半导体器件为制冷源的新型全无氟绿色食品冰箱。它具有冷冻和冷藏功能,其特点是制冷源采用半导体制冷器件的原理(帕尔帖效应) 。同时对冷藏室抽真空,具有换气、除臭、食品保鲜及真空预冷等多项功能。在

2024-01-12 5 高真空