高温熔体

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2024-05-12 7 高温熔体

介绍了石英晶体温度传感器的主要性能指标。分析了石英温度传感器非线性、频率不确定度、过热效应等因素对温度测量的影响。成功地研制了采用Y+ 5°切的石英晶体温度传感器的温度计,其温度分辨力达到10 - 4

2023-12-06 10 高温熔体

MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...

2016-07-26 2 高温熔体