高压传感
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振梁式负压传感器
对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或
2024-05-16
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一种光纤干涉式高压电流传感器的设计
设计了一种结构简单的光纤干涉式电流传感器,给出了其数学模型,并用实验验证了该系统的可行性。与其它光纤电流传感器相比,该传感器高压侧无需电源,特殊的光路使得它的测量范围大大增加,并且对缓变的干扰信号(如
2024-03-02
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半导体高温压力传感器在静电键合技术
分析了-玻璃静电键合机制，讨论看键合强度与玻璃表面、温度、键合电压的关系；通过缓慢降温等措施减小了键合后的残余应力，针对多晶硅压力传感器设计研制了一套装置，给出了其工作机制和键合电流-时间（I=t）关
2023-12-15
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