高压传感

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2014-12-29 98 高压传感

介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。关键词:M EM S; 加速度传感器,

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2016-02-28 90 高压传感

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2015-03-06 76 高压传感

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2013-11-18 142 高压传感

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