ZrO,2湿度传感器湿滞和温漂特性改善
基于纳米材料的半导体湿度传感器表现出的温度漂移、湿滞、非线性等问题严重影响了传感器的测量精度。因此，对湿度传感器输出特性的改善尤其重要，特别是要实现高精度的测量。 实验采用了高吸附性的单斜晶型的ZrO2纳米......
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基于纳米材料的半导体湿度传感器表现出的温度漂移、湿滞、非线性等问题严重影响了传感器的测量精度。因此，对湿度传感器输出特性的改善尤其重要，特别是要实现高精度的测量。 实验采用了高吸附性的单斜晶型的ZrO2纳米材料制作了湿敏元件并测试了元件的湿敏特性。结果表明元件对湿度响应较好。在相对湿度11％...
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