集成电路工艺(integratedcircuittechnique)是把电路所需要的晶体管、二极管、电阻器和电容器等元件用一定工艺方式制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上,再用适当的工艺进行互连,然后封装在一个管壳内,使整个电路的体积大大缩小,引出线和焊接点的数目也大为减少。集成的设想出现在50年代末和60年代初,是采用硅平面技术和薄膜与厚膜技术来实现的。电子集成技术按工艺方法分为以硅平面工艺为基础的单片集成电路、以薄膜技术为基础的薄膜集成电路和以丝网印刷技术为基础的厚膜集成电路。
关于集成电路制造的一些工艺介绍,有助于学习集成电路专业知识的同学。...
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CMOS集成电路制造工艺 ...
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该文档为集成电路制造基本工艺讲解文档,是一份还算是不错的参考文档,感兴趣的可以下载看看,,,,,,,,,,,,,,,,...
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集成电路工艺讲义 PPT版...
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集成电路技术过程介绍,从外延到氮化硅淀积的所有流程介绍...
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