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综述了1986 年以来辅助电极型硅传感器的开发研制与应用情况,包括辅助电极材料的选择及其优缺点,提出了对辅助电极材料的改进意见,认为今后开展辅助电极与被测熔体中元素(如碳) 间化学反应的基础理论研究,
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用微波光电导衰减仪(μ2PCD) 研究了不同温度和时间的恒温和变温磷吸杂处理对铸造多晶硅片电学性能的影响。实验发现: 变温吸杂明显优于恒温吸杂,特别是对原生高质量多晶硅; 其优化的变温磷吸杂工艺为10
采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。关键词: 绝对压力计; 高精度; 温度补偿Abstract
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