CVD金刚石厚膜晶格缺陷分析
摘要：应用X射线衍射仪的薄膜附件对热丝化学气相沉积金刚石厚膜的成核面和生长面进行分析，结果表明，金刚石厚膜的晶格常数从生长面到形核面沿深度方向是逐渐变小的。化学气相沉积金刚石初期生长的晶体存在大...
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采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备金刚石厚膜，在反应气体（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它条件不变的情况下研究...
超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
采用过滤真空阴极直流弧源（Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA）方法沉积超硬（>6000HV）超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。...
人造金刚石压机单片机控制系统
人造金刚石合成设备属高温高压设备,由于压力失控、工步混乱等可能会酿成严重后果,故其单片机控制系统需要高度可靠和多重安全保护防范.本文介绍一种模仿PLC工作原理的单片机控制系统,论述其实现安全可靠的软硬件保障措施....
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