智能传感器技术及相关工艺的研究进展
对智能传感器技术作了扼要介绍,概述了其技术特征以及传感器智能化的途径,介绍了与智能传感器设计制造的相关技术。最后评述了传感智能化的发展前景。关键词: 智能传感器; 集成工艺; 控制系统
2023-12-10
3