超硬超厚类金刚石薄膜合成研究 采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。... ⬇️ 8 次下载 合成