误差评定

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分析了经典频域三点法测量直行部件运动误差时所存在的谐波抑制,直线度误差的非周期性、非封闭性以及端点不连续而引起的高阶谐波分量失真等方法误差。为了减少上述方法误差,提出了一种新的时域两点法误差分离技术。

2024-02-05 6 误差评定

利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO

2024-02-16 9 误差评定

转角-线位移式全闭环位置伺服系统及误差分析:：在一些精度要求比较高的应用场合，半闭环的位置伺服系统不能满足要求。文中提出采用转角-线位移式全闭环位置控制方法，光栅位移传感器作为线位移检测元件安装在工作

2024-02-27 4 误差评定

为了提高工业生产过程中厂泛应用的光电积分测色仪的测试精度，分析、研究仪器误差成为仪器设计的重要内容之一。在分析探测器的光谱三刺激非线性误差的基础上，进行了测色仪原理误差的研究，提出了基于

2024-03-22 8 误差评定