误差源

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分析了经典频域三点法测量直行部件运动误差时所存在的谐波抑制,直线度误差的非周期性、非封闭性以及端点不连续而引起的高阶谐波分量失真等方法误差。为了减少上述方法误差,提出了一种新的时域两点法误差分离技术。

2024-02-05 6 误差源

利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO

2024-02-16 9 误差源