角加速度
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基于三轴加速度传感器的信息采集智能车
为了实现对高危环境检测及遥控控制简便的需求，提出了一种基于三轴加速度传感器的信息采集智能车的设计方案，并完成系统的软硬件设计。该系统的硬件部分主要通过无线通讯方式来采集外界的环境参数及控制采集车的运行状态，软件部分采用C语言进行编程，能够实...
2013-11-12
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基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅...
2013-11-17
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基于KXR94加速度计的微型惯性测量装置设计
·摘要： 详细介绍基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)和DSP的微型惯性测量装置的软硬件设计.该装置的MEMS传感器单元由微机械陀螺和微加速度计组成,可精确测量载体的3个轴向角速度信息和...
2023-05-27
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双岛五梁式微型加速度传感器的结构分析
用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组合方法,建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态分析,给出了具体的分析结果。依据强度条件对工作梁进行了优化设计,使微型加
2024-04-05
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