薄膜光学
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2024-10-28
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基于DSP的薄膜疵点在线检测系统的设计与实现
· 摘要: 提出了一种基于DSP的薄膜疵点在线检测方法,该方法用多个线阵CCD摄像机同步采集薄膜表面的图像,通过DSP系统对图像进行处理.以得到薄膜表面质量情况.对其中的高速CCD信号数字转换电路、外同步触发信号的产生...
2024-07-15
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氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响
用RF磁控溅射的方法在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后分别用氢、氧等离子体对薄膜表面进行了处理,用红外光谱、原子力显微镜、光电子能谱以及场发射试验对薄膜进行了研究,结果表明氢等离子
2024-02-29
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