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2022-08-20
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基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究
针对半导体扩散炉温度控制问题，提出采用RBF 神经网络控制方法。RBF 神经网络采用3-8-3 结构。建模表明，此RBF 网络数学模型具有良好的控制品质。关键词：半导体扩散炉；RBF 神经网络
2024-05-14
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