粒子束

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采用混合模型研究了周期永磁聚焦行波管中的离子噪声,编写了一维粒子模拟程序,并对行波管的离子噪声特性进行了分析;计算表明相同气压下,周期永磁聚焦离子噪声的频率比均匀聚焦要低,且频谱有所展宽;提出改

2024-05-12 1 粒子束

随着纳米科技的迅速发展,下一代光刻技术在微细加工领域发挥着日益重要的作用。作为复杂半导体加工主要手段之一的电子束曝光系统,需要稳定完善的控制软件来保证其正常运行。本文介绍了电子束曝光控制系统的

2024-04-24 5 粒子束