种子扩散
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用fdtd方法 模拟集成光学离子交换中扩散离子浓度的分布 进而求得折射率的分布。更创新性加入了 可变扩散系数 条件（绝对原创）
2016-02-06
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SUPREM-III进行集成电路氧化—扩散工艺模拟
随着集成电路工艺的不断发展，工艺模拟软件功能也在不断的改善，本文以氧化扩散工艺为例,并在计算机上采用SUPREM-III 完成氧化扩散初始条件的编辑以及工艺模拟，并对模拟结果进行分析比较。从而对氧化、
2023-12-30
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