📚 硅微技术资料

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设计了一种测量微位移的光纤位移传感器, 得到了传感器的位移2相位变化关系, 通过相位检出, 获得了微位移量。分析表明, 光纤位移传感器能够满足微位移测量的要求。关键词: 光纤传感器; 微位移;...

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