硅微
探索硅微技术的无限可能，从基础理论到前沿应用，这里汇聚了2004份精选资源。作为现代电子工程的核心，硅微技术以其高集成度、低功耗及卓越性能，在半导体制造、集成电路设计以及MEMS（微机电系统）开发中发挥着至关重要的作用。无论是初学者还是资深工程师，都能在此找到宝贵的学习资料与实践案例，助力您掌握这一...
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硅微 热门资料
查看全部 500 份 →一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’
2024-04-04
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基于硅结构的微流体控制系统
基于硅结构的微流体控制系统(μFCs) 是微机电系统(MEMS) 中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国
2024-04-02
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51LPC 微控制器以及三端双向可控硅简介
通过结合51LPC微控制器和BTA2xx三端双向可控硅Philips半导体使阻性和容性负载的控制更容易这个通用的一对所有控制解决方案覆盖了低功耗高感性的负载如螺线管阀门和同步电机到以主电压供电的高功耗阻性负载如电机和电热器这个两芯片解决方案...
2013-11-17
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单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟
根据单晶硅各向异性腐蚀的特点，以晶格内部原子键密度为主要因素，温度、腐蚀液浓度等环境因素为校正因子，建立了一个新颖的硅各向异性腐蚀的计算机模拟模型。在+,--开发环境下利用./0123 技术，
2024-01-26
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电容式硅微加速度计变换方程的研究
研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之
2024-04-15
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硅微机械加工光波导压力传感器的设计
随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。关键词:光波导压力传感器; 硅微机械法;
2024-04-10
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