静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计.rar
微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用：微谐振器...
硅微机械技术资料
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查看全部3035个资源 »基于角速度传感器与DSP的三维陀螺仪
· 摘要： ADI公司的角速度传感器ADXRS401具有优良的特性.本文介绍了ADXRS401的工作原理,设计并实现了一个三维陀螺仪;同时给出了该系统硬件和软件的设计方案和具体实现,并提高了该微机械陀螺仪的精度,给出了一个应用解决方案. ...
温度传感器
本文设计一种基于表面微机械 MEMS加工工艺的微型传感器，具有体积小，灵敏度高，稳定性强等优点。 ...
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永嘉微电科技优势产品——高抗干扰LCD驱动IC系列（HT16C21、HT16C22、HT16C23、HT16C24） 产品型号：HT16C21 产品品...
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