硅微机械

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自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能

2024-05-14 1 硅微机械

专为电容式微机械陀螺设计的高性能接口电路方案，采用低噪声放大与信号调理技术，提升测量精度与稳定性，适用于高可靠性惯性导航系统。

2026-01-17 1 硅微机械

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应

2024-05-08 6 硅微机械

主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 　信息

2024-03-04 5 硅微机械