硅微传感器

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随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。关键词:光波导压力传感器; 硅微机械法;

2024-04-10 3 硅微传感器

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软

2023-10-26 4 硅微传感器

自然界有各种各样的颜色,在所有颜色中,除鸟类羽毛由于干涉而产生颜色外,物体对光的选择吸收是产生颜色的主要原因。在色料(包括颜料、染料、油漆等)制造业中,都是制造具有选择吸收性能的色素,色料本身不是光源

2023-12-04 6 硅微传感器

自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能

2024-05-14 1 硅微传感器