石英陀螺

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根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配, 用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸; 根据建立的陀螺振动的等效电路模型, 对检测振动的性能进行了模拟分析, 该模型为传感器与接口电路的整体模拟打

2024-01-03 7 石英陀螺

本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词:石英;微机械陀螺;各向

2023-11-12 3 石英陀螺