设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。
标签: 电容式 加速度计 设计分析
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本文介绍了一种光纤光功率计的电路原理及单片机数据处理程序框图。
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