电机速度

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设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。

2013-10-13 65 电机速度

美国AD 公司的单片加速度传感器集成电路ADXL 05 , 可通过调整外接电阻、电容来设置传感器的满量程范围及频率响应特性, 特别适合于要求传感器小、巧、廉的应用场合。本文对其特点及应用作了详细的介绍

2013-06-05 195 电机速度

美国AD 公司的单片加速度传感器集成电路ADXL 05 , 可通过调整外接电阻、电容来设置传感器的满量程范围及频率响应特性, 特别适合于要求传感器小、巧、廉的应用场合。本文对其特点及应用作了详细的介绍

2024-01-22 4 电机速度

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之

2024-04-15 1 电机速度