溅射技术
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随着生产生活和科学技术的不断发展，用户对镀膜产品质量的要求越来越高，需求量也越来越大。这就要求镀膜设备具有较高的精度、良好的稳定性，具有较高的镀膜效率和镀膜质量。磁控溅射作为镀膜技术的一个重要分支，也相应的得到了较快的发展，它分为直流磁控溅...
2023-09-11
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离子束溅射镀膜机电源的研制
本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案，并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明：该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求，现场运行稳定可靠
2023-10-14
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