基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺
对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅助下≤2.5 bar（1 bar=100 kPa）...
湿度计技术资料
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🔌 电路图：3
测量气体湿度的物性分析仪器。湿度表示气体中的水蒸汽含量，有绝对湿度和相对湿度两种表示方法。绝对湿度指气体中水蒸汽的绝对含量，最常用的单位是克/米^3。在一定温度、压力时，单位体积内的水蒸汽含量有一定的限度，称为饱和水蒸汽含量。相对湿度指气体中水蒸汽的绝对含量与同样温度、压力时同体积气体中饱和水蒸汽含量之比，常用符号为%R.H.。湿度计的用途很广，例如在超纯金属冶炼、纺织品加工、造纸和印染等生产过程以及食品储存和气象测量等方面，常需要用湿度计来测量或控制空气或工业流程气体的湿度。[1]
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