液滴体积
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液滴体积 热门资料
查看全部 500 份 →用于半导体设备的液体到液体环境冷却系统
冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备，都会安装有数百 甚至数千个冷却系统，并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型，这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM（原始设备制造商）开发并转...
2023-01-13
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
摘要：设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片，以实现对微液滴传输的精确控制．介绍了驱动原理和工艺流程，分析了仿真和实验结果．该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴，采用玻璃作为衬底，Ｔｉ为电阻加热器，Ａｕ为电极，Ｐ...
2013-10-29
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