液压技术

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介绍了压电射流角速度传感器的软件补偿技术,给出了压电射流角速度传感器的温度补偿和线性补偿的原理和程序。通过合理选择单片机,利用数据插值和查表相结合的方法,实现了传感器的温度补偿和线性补偿,实验结果表明

2024-05-10 8 液压技术

分析了-玻璃静电键合机制,讨论看键合强度与玻璃表面、温度、键合电压的关系;通过缓慢降温等措施减小了键合后的残余应力,针对多晶硅压力传感器设计研制了一套装置,给出了其工作机制和键合电流-时间(I=t)关

2023-12-15 10 液压技术