有关X射线测厚仪技术的研究
对西门子PLC(可编程控制器)在薄膜测厚仪上的应用进行了研究,并比较了传统的以工控机为核心的电控系统与以PLC 为电控核心的系统的优缺点。详细介绍了测厚仪电控系统的组成和原理,同时对测厚数据的处理方法
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