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采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜，研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现，在较低的氮气流量下，金刚石膜的生长速率增加，在较高的氮气流
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提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证$ 传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成，专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定对该流量传感器样品进行
利用双压力传感器的方法测量了喷气Z 箍缩负载的气流马赫数。测量得到的气流马赫数最高可达到4. 25 ,它和定常计算的结果4. 8 很接近,这表明可以用定常计算来估算喷气Z 箍缩中超声速喷嘴产生的气流马
温差式热膜空气质量流量传感器:论述了热膜式空气质量流量计的基本工作原理, 通过对传感器单元的传热分析设计了一种温差式热膜空气质量流量传感器, 试验结果表明, 计算值和实测值具有良好的一致性。
论述了热膜式空气质量流量计的基本工作原理, 通过对传感器单元的传热分析设计了一种温差式热膜空气质量流量传感器, 试验结果表明, 计算值和实测值具有良好的一致性。关键词: 汽车; 传感器
通过电化学活化和硅烷偶联剂在石英谐振器的金电极表面修饰对氮氧化物(NOx) 敏感的金属酞菁化合物,制成压电气体传感器。探讨了不同敏感材料对NOx 的响应灵敏度、检出限及载气流速、温度和干扰气体等对传感