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分析了金属2绝缘体2SiC (MISiC) 结构肖特基二极管(SBD) 气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结合,建立了器件物理模型. 模拟结果表明,响应特性与金属电极类型、绝缘层
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微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS) 加工技术,制备Si 基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为
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