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资料->【B】电子技术->【B6】品质管理->【1】标准规范（国标、行标、安规、规范）->【行标】->SJ->SJ 20026-1992 金属氧化物半导体气敏元件测试方法.pdf
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS) 加工技术,制备Si 基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为
本文从高湿性能、湿度特性和时间稳定性几个方面分析研究了应用在气象领域的三种湿敏电容传感器的性能，提出了应用已气象常规观测领域的湿度传感器必须进行的六项基本试验及试验方法。
常用传感器与敏感元件
与其他有毒气体检测方法相比，电化学传感器具有功耗低、交叉灵敏度低、长期稳定性出色等特点，非常适合电池供电的便携式应用。 系统设计考虑因素: 低功耗，尽量延长电池寿命 高可靠性，需要精确、强健、低漂移的信号链 充分发挥电化学传感器的优...
利用Fabry-Perot 腔的选频特性，考虑与光纤的低损耗窗口相一致和价格等因素，以价廉的1300nm 波段的LED 作为光源，实现了PZT 对Fabry-Perot 腔的正弦调制；对甲烷气