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SiC 肖特基二极管气体传感器可以广泛应用于检测气体排放物和气体泄露。通过采用PdCr 合金,可以提高Pd/ SiC 气体传感器的灵敏度。同时,在Pd 层和SiC 之间引入SnO2 作为界面层也是提高...

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综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作方法和加速传感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状,展望了电阻式半导体气体传感器的发展方向。...

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