微电子机械系统(M EM S)中的铁电器件
提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。关键词 M EM S 铁电材料 微传感器 微执行器...
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