晶振集成
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振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配, 用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸; 根据建立的陀螺振动的等效电路模型, 对检测振动的性能进行了模拟分析, 该模型为传感器与接口电路的整体模拟打...