基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术
含有多传感器的微机电系统在组装传感器时, 一般存在着轴对准问题, 轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差。为此提出一种基于光对准的误差补偿方法, 可以在不需要高精度轴对准的前提下, 对装配后的组件进行
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含有多传感器的微机电系统在组装传感器时, 一般存在着轴对准问题, 轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差。为此提出一种基于光对准的误差补偿方法, 可以在不需要高精度轴对准的前提下, 对装配后的组件进行
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