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介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数- 模组合硬件电路实现分段补偿,具
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介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。关键词:M EM S; 加速度传感器,