石英微机械惯性传感器的加工技术
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词:石英;微机械陀螺;各向
2023-11-12
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